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適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計(jì)AFW-100W原理分析

發(fā)布時(shí)間:2024-11-25 點(diǎn)擊量:353

適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計(jì)AFW-100W原理分析


這是配備光譜儀的標(biāo)準(zhǔn)型號(hào),非常適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計(jì)??梢赃M(jìn)行非接觸式測(cè)量,因此您不必注意涂層工作表面。

它涵蓋了廣泛的測(cè)量波長(zhǎng)和可測(cè)量的薄膜厚度。

可測(cè)量波長(zhǎng):380nm~1050nm
可測(cè)量膜厚:100nm~60μm

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反射分光膜厚計(jì)AFW-100W


反射分光式膜厚計(jì)測(cè)量原理

當(dāng)光線照射在透明薄膜上時(shí),在薄膜表面反射的光(R1)與在薄膜內(nèi)部折射并在基材表面反射的光(R2)重疊,導(dǎo)致光線增強(qiáng)或減弱。

這種現(xiàn)象稱為“光干涉" 。當(dāng)光的相位匹配時(shí),強(qiáng)度增加,而當(dāng)相位偏移時(shí),強(qiáng)度減小。

右圖是“光干涉"的圖像。 “反射分光膜厚計(jì)"是通過(guò)分析該光的干涉(波長(zhǎng))來(lái)測(cè)量膜厚的方法。

反射光譜膜厚測(cè)量原理


計(jì)算理論

C/F(曲線擬合)

求使測(cè)量反射率與理論反射率之差的平方最小的膜厚值。

推薦在波紋數(shù)為3個(gè)以下時(shí)使用(膜厚約1μm)。

FFT(快速傅里葉變換)

通過(guò)FFT計(jì)算確定某一波長(zhǎng)寬度內(nèi)表示膜厚的干涉波形的數(shù)量,并由此導(dǎo)出一個(gè)周期的波長(zhǎng)寬度。

建議在有3個(gè)或更多波紋時(shí)使用(膜厚約1μm)。

模型AFW-100W
目的一般膜厚用
設(shè)備配置單元主體、測(cè)量臺(tái)、分支光纖(1.5m)、PC、膜厚測(cè)量樣品
測(cè)量波長(zhǎng)范圍380nm~1050nm
膜厚測(cè)量范圍100nm至1μm(曲線擬合法)
1μm~60μm(FFT法)
測(cè)量重復(fù)性0.2%至1%(取決于膜質(zhì)量)
測(cè)量光斑直徑約7毫米
光源12V-50W 鹵素?zé)?/span>
測(cè)量理論曲線擬合法/FFT法
外形尺寸(毫米)機(jī)身:W230 x D230 x H135
測(cè)量臺(tái):W150 x D150 x H115
大約重量5.5kg *不包括電腦
公用事業(yè)交流100V 50/60Hz
消耗品鹵素?zé)?/span>



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