日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)

產(chǎn)品型號(hào)： SC-701AT

所屬分類(lèi)：涂布機(jī)

產(chǎn)品時(shí)間：2024-09-09

簡(jiǎn)要描述：日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701AT
排氣→涂層（蝕刻）→全自動(dòng)，直到進(jìn)入大氣
盡管是緊湊型，但仍可以進(jìn)行膜厚控制（簡(jiǎn)單型）
全自動(dòng)濺射設(shè)備，操作簡(jiǎn)便，重現(xiàn)性高

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日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701AT

特征

排氣→涂層（蝕刻）→全自動(dòng)，直到進(jìn)入大氣
盡管是緊湊型，但仍可以進(jìn)行膜厚控制（簡(jiǎn)單型）
全自動(dòng)濺射設(shè)備，操作簡(jiǎn)便，重現(xiàn)性高
配備涂層/蝕刻模式

應(yīng)用/結(jié)果示例

各種設(shè)備的電極膜附件
用于制造反射薄膜等的應(yīng)用

日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701AT

基本規(guī)格

陰極	φ2英寸/ 2極面對(duì)電極
濺射靶	包含金靶
蝕刻目標(biāo)	包括Al目標(biāo)
膜厚設(shè)定方法	預(yù)設(shè)方法/帶膜厚監(jiān)視器的數(shù)字顯示
氣體導(dǎo)入機(jī)制	針閥
真空泵	直連式旋轉(zhuǎn)泵：20l / min（帶自動(dòng)泄漏）
排氣操作	自動(dòng)的
箱體尺寸	內(nèi)徑φ120mm x D120 mm（SUS制）
樣品交換方法	前門(mén)開(kāi)合式
尺寸（寬/深/高）	主體：225/420 / 320mm RP：300/160 / 200mm
重量	身體：15公斤 RP：9公斤

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